Датчик вакуумный – специализированный прибор, который предназначен для измерения давления в системе по созданию и поддержанию вакуумной среды. Без него невозможно контролировать выполнение технологического процесса. Он востребован в оснащении различных систем и установок.

Датчик вакуума

Датчик вакуумный: классификация

Другие названия прибора: вакуумметр, манометр. Но и тут есть определенные разграничения. Вакуумметр предназначен для измерения давления разряженной газовой смеси. Манометр – для определения давления жидкости или газа. С помощью такого оборудования измеряют парциальные давления и другие параметры рабочего вещества.

Классификация датчиков вакуума:

  • механические;
  • тепловые;
  • ионизационные;
  • пьезорезистивные.

Первый вид приборов разделяют на несколько подвидов. К ним относят жидкостные вакуумметры. Их другое название – гидростатические. Они предназначены для измерения давления на поверхности откачиваемой жидкости. Их форма – U-образная. Также в эту группу входят компрессионные датчики. Они являются одной из разновидностей гидростатических вакуумметров. Эти приборы довольно часто применят в качестве калибровочных.

Кроме этого, к механическим датчикам относят деформационные вакуумметры. Они могут быть пружинными или мембранными. Принцип их действия основан на колебании чувствительного элемента: пружины или мембраны (диафрагмы). Такие приборы часто называют емкостными. Их рабочий объем изменяется в зависимости от движения элементов.

Второй вид датчиков вакуума – тепловые. Эти приборы считаются самыми востребованными в промышленности. Они предназначены для измерения низкого и среднего уровня технического вакуума. Их основное достоинство – точность измерений. Вакуумметры могут быть газозависимыми. К этой категории оборудования относят термопарные, конвекционные датчики и вакуумметр Пирани. Первый вид приборов является самым практичным и доступным в цене. Конвекционные датчики работают на основе процесса конвекции. Вакуумметр Пирани работает на основе зависимости температуры нити накала от уровня давления окружающей ее газовой смеси.

Ионизационные датчики предназначены для измерения давления в высоком уровне технического вакуума. Они представлены магниторазрядными датчиками, высоковакуумными нитями накала. Первый вид приборов предназначен для измерения высокого уровня вакуумной среды. Принцип их действия основан на ионизации молекул газовой смеси. В работе датчиков с нитью накала заложен принцип термоэлектронной эмиссии. С ее помощью образуются потоки электронов, которые ионизируют молекулы газа.

Пьезорезистивные датчики используют для измерения высокого и сверхвысокого уровня технического вакуума. Они являются газонезависимыми. Их применяют в различных отраслях промышленности. Они точные в измерениях и практичные в эксплуатации.